东南大学微电子机械系统教育部重点实验室

南京理工大学MEMS惯性技术研究中心 军工的

西北工业大学微纳米系统实验室

厦门大学萨本栋微纳米技术研究中心

清华大学微电子学研究所微纳器件与系统研究室

上海交通大学微纳科学技术研究院