微机电系统工程专业排名前10名的大学有：清华大学（排名第1）、哈尔滨工业大学（排名第2）、上海交通大学（排名第3）、华中科技大学（排名第4）、北京理工大学（排名第5）、天津大学（排名第6）、大连理工大学（排名第7）、浙江大学（排名第8）、西安交通大学（排名第9）、北京航空航天大学（排名第10）。

1 .清华大学，6星级，北京。

2 .西北工业大学，5星级，陕西。

3 .北京航空航天大学，4星级，北京。

1.清华大学,2哈尔滨工业大学,3华中科技大学,4北京理工大学,5北京航空航天大学,6上海交通大学,7浙江大学,8中南大学,9西安交通大学,10西北工业大学,11天津大学,12湖南大学,13同济大学14电子科技大学,15四川大学,16重庆大学,17武汉大学,18哈尔滨工程大学,19中山大学,都是机械电子工程专业得老牌院校。