监理工程审核单价的过程需要遵循一定的步骤和原则，以确保工程建设的合理性和经济性。以下是审核单价的主要步骤和注意事项：

审核工程变更手续的完备性

工程变更手续必须完备，施工单位需编制变更项目的单价分析并提交总监理工程师审核。

总监理工程师可以指定专业监理工程师进行预审。

比对定额和市场单价

按照国家颁布的相关工程项目定额、机械台时费、规定的取费率和物价局颁布的本地现行市场单价、人工工时费进行比对。

逐条检查施工单位申报的定额、取费率、市场单价是否符合规定的合理范围。若符合则同意，不符合则写出理由退回施工单位重做。

审核新增单价的理由合理性

审查新增单价的理由是否合理，包括变更的内容、施工的实际情况等。

审核新增单价的成本是否合理，以及合同新增成本与合同整体收益比是否未超出预算利润率。

审核单价套用的准确性

审核单价套用的计价表是否合理和准确，工程项目是否有重复套用。

审查套用的计价表主材价差计算是否合理，材料价应按原基价计入直接费，差价部分作为主材价差另计。

审核合同价格的变更

如果合同中已有适用的价格，按已有价格变更合同价款。

如果合同中只有类似变更工程的价格，参照类似价格变更合同价款。

如果合同中无上述价格，由承包人提出适当的变更价格，经监理工程师确认后执行。

记录和备案

监理工程师在审核过程中需要及时记录和备案，以便未来的管理和跟踪，防止管理上的漏洞和责任不清。

协调争议

若建设单位与施工单位对变更价格产生争议，监理单位需在合理范围内制定价格，并暂时按此价格结算工程款。

若双方均同意监理单位制定的价格，则此价格为最终生效的合同价格。

若存在疑问和争议，可申请仲裁或向人民法院起诉。

通过以上步骤，监理工程师可以有效地审核工程单价，确保工程变更的合理性和经济性，同时维护建设单位和施工单位的合法权益。