蓝英装备与光刻机属于合作关系。

蓝英装备的前身为沈阳蓝英工业自动化装备有限公司。

2010年6月10日沈阳蓝英工业自动化装备有限公司以整体变更方式设立股份有限公司。合作，指共同创作，共同从事;二人或多人一起工作以达到共同目的，联合作战或操作。语出《国语·晋语三》:"杀之利。逐之，恐构诸侯，以归，则国家多慝;复之，则君臣合作，恐为君忧。不若杀之。"