光学三级精度设备的精度误差在0.005mm以内，适用于一般精度的加工和检测。

光学加工的精度一般在毫米级别，要求表面平整、无明显瑕疵、无气泡等，同时也要具备一定的光学透明度和光学均匀性。光学设备的精度等级越高，越能满足精密的工艺要求，因此被广泛应用于半导体、电子、航空、国防等行业。