外延生长薄膜时需要用单晶材料作为衬底。

常用的比如说硅单晶。单晶晶格常数比较大，所以外延生长氧化物薄膜一般用钛酸锶单晶。生长石墨烯可以用铜单晶。外延生长薄膜原理是：薄膜的某个结晶取向的晶格常数和单晶衬底的晶格常数相匹配，这样衬底就有诱导薄膜定向结晶的作用。但是薄膜不能生长的太厚，太厚了就没有诱导作用了。