常用的等离子体激发频率有三种：激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体，13.56MHz的等离子体为射频等离子体，2.45GHz的等离子体为微波等离子体。

不同等离子体产生的自偏压不一样，超声等离子体的自偏压为1000V左右，射频等离子体的自偏压为250V左右，微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏。而且三种等离子体的机制不同，超声等离子体发生的反应为物理反应，射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应，微波等离子体发生的反应为化学反应。超声等离子应用于表面除胶、毛刺打磨等处理方面；半导体生产应用中大多采用射频等离子体清洗和微波等离子体清洗。--沃特塞恩微波源高效应用于微波等离子体清洗设备（http://www.wattsine.com.cn）