具体流程如下：

1、申请，向设区的市级或者直辖市的区人民政府司法行政部门提出申请并提交相应资料；

2、审查，司法行政部门自受理之日起二十日内予以审查，并将审查意见和全部申请材料报送省、自治区、直辖市人民政府司法行政部门。

3、审核批准，省、自治区、直辖市人民政府司法行政部门自收到报送材料之日起十日内予以审核，作出是否准予设立的决定。准予设立的，向申请人颁发律师事务所执业证书；不准予设立的，向申请人书面说明理由。

4、登记。