验收时审计工程量的具体步骤如下：

1. 收集相关资料：收集工程设计文件、合同、变更单、洽商记录、施工日志等相关资料，以便进行审核和比对。

2. 审核工程变更单：对于工程变更单，需要核实其合法性和合理性，比如是否经过相关部门或业主的批准和签字，是否符合工程设计规范和技术标准等。

3. 审核施工日志：施工日志是施工过程中的重要记录，可以反映出实际工程量是否超出清单工程量，需要仔细审核。

4. 制定审计报告：根据收集的资料和审核结果，制定审计报告，明确超出部分的合理性和合法性，以及项目责任方的责任和处理措施。

5. 提出建议和意见：审计报告中需要提出具体的建议和意见，比如要求责任方补足超出部分的费用，或者对超出部分进行重新设计和审批等。

6. 跟踪处理结果：审计报告提交后，需要跟踪处理结果，并根据处理结果进行后续的工作。如果责任方未能履行责任，需要采取相应的法律措施来维护项目利益。