制造量排名第一的是荷兰阿斯麦尔。

世界各国光刻机光刻机制造量的排名前荷兰阿斯麦尔公司、日本尼康和佳能、上海微电子。其中荷兰阿斯麦尔垄断euv光刻机市场，年制造量目前大约70台，duv光刻机大约150台，全线产品市场占有率超过90%。而日本尼康、佳能和上海微电子应该在10台以内。