MEMS麦克风的基本声学参数是灵敏度，SNR，频率响应和声学过载点。

它们分别定义如下： 灵敏度是麦克风输出端的电信号，作为输入的给定声压。声压的参考值为1 Pa或94 dBSPL @ 1kHz。声压级，以分贝表示，dBSPL = 20 * Log（P / Po），其中Po =20μPa是听力阈值。 20 * Log（1Pa /20μPa）= 94 dBSPL信噪比指定给定参考信号与麦克风输出处的残余噪声量之间的比率。当声压为1Pa @ 1 kHz（麦克风灵敏度）时，参考信号是麦克风输出端的标准信号。噪声信号（残留噪声）是静音时的麦克风电输出声学过载点是麦克风可以无失真地生成的最大音频信号。实际上，该规范允许在声学过载点处的失真方面高达10％