微米、纳米机器人主要是用来攻击硬件系统。

这些微小型机器人系统是微纳米技术和微机电系统发展的结果，其形状类似黄蜂或苍蝇、大小比蚂蚁还小，而且能飞、能爬，很难被发现或识别，可以大量“飞入”或“爬入”敌方的信息中心大楼及保密室，通过计算机的接口钻进计算机或网络服务器，偷窃秘密信息或破坏信息系统。