荷兰阿斯麦尔公司的光刻机。

中芯国际14纳米芯片用的是荷兰阿斯麦尔公司的光刻机，可能还有少量日本的光刻机。目前全球只有四家公司能够制造光刻机，分别是荷兰阿斯麦尔、日本尼康和佳能、中国上海微电子。而中芯国际的光刻机是duv光刻机，荷兰阿斯麦尔的光刻机市场占有率在90%左右。上海微电子去年28纳米才通过技术检测和验证，目前还未有消息量产。所以中芯国际14纳米用的是荷兰阿斯麦尔光刻机。