当含氧气的气体通过两个电极间的放电间隙时,部分氧气分子（O2）会被转化为臭氧（O3）从而实现臭氧制备.当高压电极上带有变化的高电压时,电极之间的放电间隙处会产生微放电,氧气分子被分解为自由态的氧原子（O）,部分自由态的氧原子与未分解的氧气分子重新结合生成臭氧（O3）,即O＋O2＝O3.