GX Works3机械手SFC编程步骤如下：

首先，确定机械手的功能和任务；

其次，创建SFC程序并设置步骤；

然后，定义输入输出信号，并编写对应的逻辑控制程序；

接着，进行程序调试和验证；

最后，安装程序到机械手控制器中，完成机械手SFC编程。需要注意的是，编程过程中要仔细考虑各种情况和异常处理，确保机械手能够正常运行和完成任务。