光学邻近效应

光学邻近效应 (Optical Proximity Effect, OPE)是由于部分相干成像过程中的非线性空间滤波，像强度频谱的能量分布和位相分布相对理想像频谱有一定畸变，并最终大大降低了成像质量，即引发光学邻近效应。