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不同的场合有不同的要求。等离子阴极,要求材料的逸出功要低,化学性能稳定,材料成本要低、来源广,加工简单、方便,在真空环境使用的,要求真空性能好、放气小。
很多电极往往采用复合材料,如镍电极敷铯(Cs),也有用铜、铝、钨……需要反复试验。