半导体CIM系统是工业软件系统，它是由生产执行系统 MES、装备控制平台 EAP、良率分析控制系统 YMS、FAB 实时调度排产系统 RTS 等数十种软件系统组成。

半导体制造端的软件主要有CIM软件,CIM(Computer Integrated Manufacturing)。