精细激光器通常指的是那些能够进行高精度加工的激光器，它们能够在各种材料上创建非常精细的特征。以下是一些常见的精细激光器类型：

CO2激光器：

使用二氧化碳气体作为工作物质，通常用于需要高功率和快速切割的应用场合，如金属板材的切割。

YAG激光器：

使用钇铝石榴石（YAG）晶体作为工作物质，适合进行金属材料的切割和打孔。

铜蒸汽激光器：

使用铜蒸汽作为增益介质，在激光微细加工技术中应用较多。

准分子激光器：

使用准分子气体作为工作物质，具有高功率和短波长，适合进行高精度加工。

超短波长纳秒固体激光器：

如紫外和深紫外激光器，具有超短波长和高精度聚焦的特点，适用于精细微加工。

超快激光器：

如皮秒和飞秒激光器，以极短脉冲进行加工，实现“冷加工”，减少热影响区。

光纤激光器：

使用掺稀土元素玻璃光纤作为增益介质，适用于高精度切割和焊接等加工。

薄盘激光器：

使用固体材料的非常薄盘作为增益介质，结合了光纤激光器和固态激光器的优点，提高了重复率和平均功率。

这些激光器在电子、显示、新能源、半导体等高科技领域有着广泛的应用，并推动了相关产业的发展和进步。