开具厂房租金发票的步骤如下：

确认合同内容

确认租赁合同中的租金、付款方式等条款。

确认发票类型

根据合同内容和税务规定，确定开具的发票类型，如增值税专用发票或普通发票。

开具发票

使用开票软件或税控盘，录入租房者信息，选择正确的开票项目和税率，输入租赁收入金额，并打印发票。

确保发票内容真实、字迹清晰，并在发票联和抵扣联加盖发票专用章。

缴纳税款

根据税务规定，计算应缴纳的税款，如增值税、城建税、教育费附加、印花税等。

携带税务登记证（副本）、租赁合同、经办人身份证等相关材料，到主管的地税局办税服务大厅办理缴纳税款。

交付发票

将开具好的发票交付给租客，并保存好相应的开票记录和支持材料。

请注意，以上步骤可能因地区税务政策的不同而有所变化，建议咨询当地税务局获取最新信息。