光刻胶的生产是一个复杂且精细的过程，主要包括以下几个步骤：

原料准备

选择高质量的原材料，包括成膜树脂、光敏剂、溶剂和添加剂等。

溶液制备

将光刻胶固体或浓缩液与相应的溶剂混合，控制光刻胶的浓度、粘度和其他物理性质。

混合和搅拌

将光刻胶固体和溶剂放入容器中，使用搅拌器搅拌混合，确保均匀分散。

过滤

通过过滤器去除溶液中的悬浮颗粒和其他杂质，提高光刻胶的纯净度和稳定性。

除气

去除光刻胶溶液中的气泡，以避免对光刻过程产生干扰。

改性剂添加

根据需要添加改性剂，调整光刻胶的化学反应速率、粘度、耐久性等性质。

涂布

将光刻胶溶液涂布在硅片或其他基材上，通过旋转涂布或其他技术形成薄膜。

预烘（软烘干）：