高新技术企业进行税务备案的流程通常包括以下几个步骤：

提交备案申请和相关证明材料

企业应提出一份备案申请书，并附上相关证明材料，如企业营业执照或组织机构代码证、高新技术企业证书、技术成果立项文件等。

准备必要文件

验证资料：税务登记证副本原件和经办人身份证明。

报送主表：《税收优惠备案报告表》。

附送资料：可能包括企业年度研究开发费用结构明细表、高新技术产品（服务）收入占比说明、科技人员占比说明等。

前往税务机关备案

携带上述材料前往主管税务机关进行备案工作。

审核与备案证书

税务机关审核材料后，按规定发给企业备案证书，企业即可正式获得高新技术企业税收优惠资质。

年度纳税申报前的备案资料提交

在年度纳税申报前，企业应按照相关规定向税务机关提交企业所得税优惠事项备案表和高新技术企业资格证书履行备案手续。

留存备查资料

企业应妥善保管相关资料，以备税务机关检查。

请注意，具体的备案流程和要求可能会根据最新的税法规定和地方税务机关的具体操作有所变化，建议直接咨询当地税务机关获取最新信息。