MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）传感器是一种微型电子机械系统，它利用微米级别的电子元器件和微机械元器件来感知和转换物理量。以下是一些常见的MEMS传感器类型：

运动传感器

加速度计：用于测量物体在三个轴向上的加速度。

陀螺仪：用于测量物体的角速度。

磁力计：用于测量磁场强度。

六轴惯性传感器：集成了加速度计和陀螺仪。

电子罗盘（e-compass）：集成了磁力计和加速度计。

九轴传感器：集成了加速度计、陀螺仪和磁力计。

环境传感器

压力传感器：绝对压力传感器和计量压力的传感器。

温度传感器：用于测量温度。

湿度传感器：用于测量空气中的相对湿度。

气体传感器：用于检测目标气体的成分和浓度。

生物传感器

用于检测生物分子、细胞、蛋白质等生物成分。

其他传感器

麦克风：用于转换声音信号为电信号。

光传感器：用于测量光强度。

流量传感器：用于测量流体流量。

开关：用于控制电路的通断。

这些传感器在消费电子、汽车工业、医疗设备和航空航天等领域中发挥着重要作用。它们通常具有小型化、低功耗、高精度等特点