税务检查高新技术企业的过程通常包括以下几个方面：

核查硬性指标

收入标准、人员标准、研发费用标准是否符合高新技术企业认定标准。

研发费用核查

检查是否存在虚增研发费用的情况，确保研发费用符合加计扣除要求。

研发人员核查

核实研发人员花名册，确保研发人员真实存在，学历和入职时间符合要求。

财务报表审查

检查财务报表之间的勾稽关系，企业成长性和研发成果转化情况。

申报材料审核

审查企业提交的高新技术企业认定资料、知识产权证书、研发费用辅助账及相关审计报告等。

优惠政策享受情况

查看企业是否按规定享受了高新技术企业与研究开发费用加计扣除优惠政策。

实地核查

对部分企业进行现场核查，综合审查企业的研发活动、成果转化、人员构成等是否符合要求。

数据核对

核对企业提交的资料与税务系统数据的一致性，包括研发费用、高新产品收入、人员情况等。

企业自查

企业需要如实填报《高新技术企业自查表》，整理归档相关的认定申请材料。

地方检查

地方科技主管部门和税务部门联合检查，包括审核企业填报的自查表，联合其他职能部门检查企业是否符合规定。

税务检查的目的是确保企业符合高新技术企业的资格要求，并且合规享受税收优惠。企业在面对税务检查时应准备充分的证明材料，确保所有信息的真实性和准确性。