1.镀金属膜时，一般用氩气作为工作气体，它是惰性气体，在真空状态下加热基片时不会发生氧化作用。

2.氧气一般用于镀非金属膜，如TiO2，不必担心镀好膜后发生膜氧化现象。

3. 氮气是在换靶镀膜时往真空室冲入的气体，让真空室内压强和大气压强保持相等，才能开盖换靶镀另一层膜。 可能解释还不是很清楚，如有疑问，可以继续提问