半导体制程工艺SAT是指超音波显微镜检测设备。

原理是藉由超音波于不同密度材料之反射速率及能量不同的特性，来进行分析。利用纯水当介质传递超音波信号，当信号遇到不同材料的接口时，会部分反射、部分穿透，机台就会接收这些信号组成影像。SAT超音波可用来检测芯片组件内部不同位置的脱层(Delaminaiton)、裂缝(Crack)、气洞及粘着状况，多用于检察芯片封胶内的缺陷。

SAT是现场检测设备，一般在半导体封装技术领域用，比较高大上的。