加工半导体零件需要多少级洁净室

2024-05-01 09:44:56
加工半导体零件需要多少级洁净室急求答案,帮忙回答下
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半导体加工的话涉及的洁净度等级主要有10级,百级,千级,一般在前端晶圆物理处理是千级就可以,涉及研磨,蚀刻时需要百级,长晶需要十级

2024-05-01 09:44:56
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