以上元素都可以用化学法分析，但是化学法操作繁琐，逐渐不适用于生产工业。

现在一般用直读光谱仪分析C P S ，氧氮氢分析仪分析O、H、N。对于一些不能用直读光谱仪分析的金属（铸铁、碎屑状金属），C，S一般选用碳硫分析仪分析 ，P用ICP分析