中科院微电子所研究生收费目前已全面改革，都需要自己承担自己交费，博士每学年一万元，硕士8000元/年，全国统一价。

但中科院微电子所直接发放补助，博士1000元/月，硕士500元/月，全国统一标准，导师发的另算。 此外还发奖学金，博士1万元，覆盖率70%；硕士4000元，覆盖率40%。