1794年德国的C.F.高斯发明了最小二乘法，直到1809年才发表。

1806年法国的A.-M.勒让德也提出了同样的观测数据处理方法。

1859年法国的A.洛斯达首创摄影测量方法。

20世纪初，由于航空技术发展，出现了自动连续航空摄影机，可以将航摄像片在立体测图仪上加工成地形图，促进了航空摄影测量的发展。