研究光刻机，你可以考虑以下专业：

集成电路设计与集成系统专业：

这个专业针对集成电路设计和系统设计人才的需求而设立，培养学生掌握集成电路基本理论、设计方法以及EDA工具，熟悉电路、计算机、信号处理、通信等相关系统知识。

光电专业或应用物理（传统光学方向）：

光刻机的研发集光学、电子、机械等多学科为一体，光电专业或应用物理专业能够提供必要的光学知识背景。

微电子与固体电子专业：

这个专业专注于微电子领域，与光刻机技术中的电子电路知识紧密相关。

机械加工相关专业：

光刻机需要精密的机械加工技术，因此相关专业如机械工程或精密仪器工程是不错的选择。

化学专业：

在光刻过程中，可能会涉及到化学处理，例如清洗和去除光刻胶等步骤。

能源动力类专业：

如热能与动力工程、核工程与核技术等，虽然这些专业与光刻机技术不直接相关，但在某些方面，如能源供应和精密控制方面，可能会有所涉猎。

选择适合的专业时，可以考虑自己的兴趣和未来的职业规划，以及专业的就业前景和发展潜力。