根据您提供的信息，以下是2024年美国MEMS（微机电系统）研究生专业的排名情况：

1. 普林斯顿大学 - photonics

2. 哈佛大学 - atomic, molecular, and optical physics, nanophotonics

3. 耶鲁大学 - electronic, photonic & nanoelectronics, optical physics, and devices

4. 哥伦比亚大学 - materials science, electronic, optical, and magnetic materials, atomic, molecular, and optical physics, condensed matter & laser physics

4. 斯坦福大学 - optics, nanophotonics, and quantum technology

7. 麻省理工学院 - atomic, optical physics, optoelectronics, electronic, photonic, and magnetic materials, integrated electronic and photonic systems

8. 杜克大学 - photonics, and optical sciences

10. 加州理工学院 - bio-electronics, bio-optics, electromagnetics, optics, and optoelectronics

10. 约翰霍普金斯大学 - solid state electronics, photonics, optoelectronic, and magnetic materials

以上排名基于2024年5月1日的发布信息。如果您需要最新的排名信息，建议访问相关高等教育评价机构的官方网站或联系他们获取最新数据