德国在半导体材料专业方面，根据最近的信息，排名靠前的大学有：

1. RWTHAachen（亚琛工业大学）

2. Karlsruher Institut für Technologie（卡尔斯鲁厄工业大学）

3. Technische Universität Berlin（柏林工业大学）

这些排名基于不同的标准和评估体系，可能会有所变动。建议查看最新的排名信息以获得最准确的数据