在中国，拥有光刻机及相关技术的大学包括但不限于以下几所：

清华大学：

清华大学在光刻机技术方面有着深厚的研发背景，其微电子系在光刻机及相关技术领域有较高的声誉。

北京大学：

北京大学的电子科学与技术专业在全国高校中名列前茅，并在光刻机技术方面有所建树。

华中科技大学：

华中科技大学的光电类实验室，特别是国家光电实验室，在光刻机技术方面有着强大的研发能力。

复旦大学：

复旦大学在微电子技术研发方面起步较早，其微电子学与固体电子学专业在全国有很高的地位。

上海交通大学：

上海交通大学在光电子领域也具有较高的声誉与水平。

电子科技大学、 西安交通大学、 哈尔滨工业大学、 南京大学、 东华大学等高校在微电子领域也有优秀的表现。

此外，还有一些专门针对集成电路设计的大学，如 南京集成电路大学，专注于培养芯片领域的人才。

请注意，上述信息基于最近的数据和报道，具体情况可能会有所变化。如果您需要最新的详细信息，建议直接咨询相关高校或查看最新的科研成果发布。