光刻技术是微电子制造中的关键技术之一，以下是一些在光刻技术领域表现突出的大学：

清华大学

清华大学在光刻机工件台方面表现出色，并且拥有强大的科研能力。

北京大学

北大清华微电子系在光刻技术方面也有较高的声誉与水平。

华中科技大学

华中科技大学拥有光电类最强的实验室，如国家光电实验室，并在光刻技术方面取得了显著成就，如合成光刻胶的研发。

上海交通大学

上海交通大学在光刻技术领域也有一定的研究和贡献。

复旦大学

复旦大学在光刻技术方面同样具有较高的声誉。

电子科技大学

电子科技大学在微电子领域表现优秀，涉及光刻系统的设计、检测等方面。

西安交通大学

西安交通大学在光刻技术方面也有一定的研究和贡献。

哈尔滨工业大学

哈尔滨工业大学在光刻机工件台方面表现出色。

南京大学

南京大学在光刻技术领域也有一定的研究和贡献。

东华大学

东华大学在光刻技术方面同样具有较高的声誉。

这些大学在光刻技术领域都有各自的研究方向和成果，为学生提供了良好的学习和研究环境。选择哪所大学，学生可以根据自己的兴趣和未来的职业规划来决定