清华微电子考研的科目通常包括以下几个部分：

1. 思想政治理论

2. 英语一

3. 数学一

4. 专业课（可能包括半导体物理、器件及集成电路、信号与系统、半导体器件与电子电路等）

5. 实验技能考核（部分学校或专业可能会包含）

具体的考试科目和分值分配，建议查阅清华大学研究生招生网或咨询相关导师以获得最准确的信息。