美国在MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）研究生专业方面享有很高的声誉，以下是一些排名信息：

普林斯顿大学- photonics

哈佛大学- atomic, molecular, and optical physics nanophotonics

这些排名信息基于最近的数据，但请注意，排名可能会随着时间和各种因素（如研究成果、教授的学术成就、学生满意度等）的变化而变化。

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