真空方向的专业主要学习以下科目：

电磁场理论

数学物理方程

非线性理论

微波电子学

等离子体电子学

固体电子学

电路原理

电子技术基础

信号与系统

微机原理及应用

半导体物理

固体物理

理论物理基础

软件技术

光电信号处理

光辐射原理

光电阴极

电子光学

光电子器件

真空电子技术

微电子技术

光电成像技术

显示技术

真空镀膜技术

半导体集成电路

集成电路测试技术

光电检测技术

固体电子器件（双语）

真空电子技术学科前沿讲座

这些课程涵盖了真空技术的理论基础、设计方法、器件体系结构、电子光学应用软件的研究、设计、开发，以及现代真空设备的设计、制造和调测方法。专业课程还强调了真空电子技术和电子科学与技术学科的交叉和融合，突出了真空光电器件、材料与系统总体技术及相关理论的学习。