在人工智能和光刻机研发领域，以下是一些知名的高校：

清华大学：

在人工智能和光刻机研发方面都有显著成就，拥有强大的科研团队和先进的实验设施。

北京大学：

在人工智能和光刻机研发领域也有很高的声誉，特别是在自然语言处理和计算机视觉等方面。

中国科学院自动化研究所：

在人工智能领域有深入的研究，尤其在模式识别和智能系统方面。

复旦大学：

在人工智能和光刻机研发方面都有很好的表现，尤其在计算机科学和信息技术方面。

南京大学：

在人工智能和光刻机研发领域有广泛的研究，特别是在机器学习和社会计算方面。

上海交通大学：

在人工智能和光刻机研发方面都有很高的水平，特别是在计算机科学和工程方面。

哈尔滨工业大学：

在人工智能和光刻机研发领域有显著的研究成果，特别是在机器人技术和控制理论方面。

西安交通大学：

在人工智能和光刻机研发方面都有很好的表现，特别是在计算机科学和工程方面。

上海科技大学：

在光刻机研发领域有深入的研究，尤其在集成电路和微电子方面。

浙江大学：

在人工智能和光刻机研发领域有广泛的研究，特别是在计算机科学和工程方面。

南京理工大学：

在光刻机研发领域有显著的研究成果，特别是在微纳技术和光电子器件方面。

中国科学院半导体研究所：

在光刻机研发领域有深入的研究，尤其在半导体器件和集成电路方面。

这些高校在人工智能和光刻机研发领域都有很高的学术水平和研究实力，建议根据具体的研究方向和兴趣选择合适的高校进行深入研究。