1994年，组建清华科技园发展中心，正式开始建设科技园。

1998年，12万平方米的起步区工程完工，园区初具规模。

1999年，被纳入中关村科技园区的总体规划，予以重点发展支持。

2000年，57万平方米的主体园区建设启动，入园企业达到200家。

2001年，被科技部、教育部确认为首批国家大学科技园之一。

2003年，被科技部、教育部评定为全国唯一的A类大学科技园。

2005年，园区69万平方米的建筑全部建成完毕。

2006年 钻石计划启动 清华留学人员创业园被人事局命名首批“北京市留学人员创业园”

2007年 清华科技园举行“钻石计划”首批入围企业发布会

清华科技园等14家科技园联合成立中关村大学科技园联盟

清华科技园举行“钻石计划”第二批入围企业发布会

2008年 清华创业园被评为2008“最受尊敬的创业天使”

清华科技园被评为北京市文化创意产业集聚区

清华科技园蓝色Tuspark取代绿色Q型logo

清华科技园正式开通“启迪在线”

清华科技园发起设立启迪中海创投基金

清华科技园召开国际科技园协会亚太分会暨亚洲科技园协会联合年会

2009年 清华大学启迪创新研究院成立 启迪明德基金组建及启迪创新基金扩

清华科技园地处北京中关村科技园区的核心地带，这里聚集了数量众多的著名高等院校和研究院所，是中国最大、世界少有的智力密集区，同时享有中关村科技园区大规模基础设施建设和一系列配套优惠政策。园区周边交通便利，主干道纵贯四环、三环直通西直门地铁站，城市轻轨侧沿园区通行。

今天的清华科技园，同方、紫光、诚志等科技企业在园区聚集，光盘、CAD、软件、液晶等国家和部委的工程研究中心在园区落户， SUN、Schlumberger（斯伦贝谢）、P&G（宝洁）、NEC等跨国公司的研发机构在园区发展，清华大学科技开发部、国家技术转移中心、北京-清华工业开发研究院等机构在园区设立。