部队专业技能五级人员的待遇通常包括基本工资、津贴、补贴等部分。根据提供的信息，专业技能五级人员的月薪大约在5300余元，但这不包括特殊津贴、奖励工资和定期增资。此外，他们还可能享有其他福利待遇，如夫妻分居生活补助费、防暑降温费、独生子女父母奖励费等。

请注意，这些信息是基于历史数据，实际待遇可能会有所变动，具体数额和福利以最新的官方通知为准。如果您需要最新的信息，建议咨询相关的军事人力资源部门