作废增值税专用发票的处理步骤通常包括：

确认作废原因 ：确定需要作废的具体原因，如发票填写错误、发票遗失等。

准备申请材料：

根据当地税务机关的要求，准备申请作废的相关材料，如作废发票申请表、发票原件、申请人身份证明等。

填写作废发票申请：

按照税务部门的要求，填好作废发票申请表格，并在申请表中详细说明作废原因和相关信息。

提交申请材料：

将填写完整的作废发票申请表格和相关文件递交至当地税务机关或指定的窗口。

税务机关审核：

税务部门会对作废发票申请进行确认和审核，核实申请的真实性和准确性，并验证发票原件的合法性。

记录作废信息：

一旦审核通过，税务机关会将作废发票相关信息录入系统，并标记该发票作废。

发票作废处理

当月作废的增值税专用发票，在税控机上作废。

如果跨月，不能直接作废，需要开具红字发票进行冲销。

留存作废发票：

作废的纸质发票与发票存根联（如有）存放在一起，以备下次购买发票税务验旧时备查。

请确保遵循当地税务机关的具体规定和流程，因为不同地区可能有细微差别。