监理在审核施工费用时，通常会遵循以下步骤和注意事项：

工程量核实

监理工程师需实地考察，对照施工图纸和工程量清单，确保施工单位上报的工程量与实际完成的工程量相符，没有漏报、虚报或重复申报的情况。

价格审核

核对定额和合同约定的支付标准，确保工程款的计算合理、准确。

审核过程中要关注工程量的变更是否经过合法程序批准，以及相应的合同条款是否得到履行。

合同条款遵守

严格按照施工合同的约定执行，包括支付节点、比例、预付款的扣回、业主代扣代缴费用的扣除等。

支付申请审核

审核施工单位的进度款结算表和工程进度款复核申请书，经复核确认后，由总监理工程师签发工程付款凭证。

支付流程

施工单位将工程付款凭证以及专业监理工程师签证的工程量清单报送业主方。

监理公司权力

监理公司需在合同中明确规定其享有审核权和签认权，未经监理公司签字认可，业主方不支付工程款。

责任与职责

总监理工程师负责审核流程的合规性和准确性，并签发最终确认。

其他注意事项

工程款支付要确保合理合规，监理单位要审核承建单位提交的支付申请是否符合合同要求。

监理工程师需要对工程的费用进行核对和审核，判断项目的造价是否合理。

以上步骤和注意事项可以帮助监理单位有效地控制工程投资，确保施工费用支付的准确性和合规性。